COBRA DS 8162/8163 B/F干式螺桿真空泵

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摘要

COBRA DS 8162/8163 B/F 干式螺桿真空泵
Busch 普旭 COBRA DS 8162/8163 B/F 干式螺桿真空泵，抽速達(dá) 7000-7385m3/h，極限壓力 0.001hPa，集成真空助力器。干式無(wú)油設(shè)計(jì)，水冷控溫，耐顆粒與蒸汽，低維護(hù)成本。適配半導(dǎo)體、光伏、鍍膜等場(chǎng)景，緊湊結(jié)構(gòu)易安裝，是高產(chǎn)能真空需求。

產(chǎn)品介紹

COBRA DS 8162/8163 B/F干式螺桿真空泵

干式螺桿真空泵

適用于高要求工藝的新一代干式真空泵

干式螺桿真空泵

技術(shù)規(guī)格

ISO 50 HzISO 60 HzUS 60 Hz

干式螺桿真空泵

尺寸圖

COBRA DS 8162/8163 B/F

干式螺桿真空泵

抽速

空氣溫度為 20°C 時(shí)，公差：± 10%

干式螺桿真空泵

在平板顯示器生產(chǎn)中，Load lock 腔體作為晶圓 / 玻璃基板傳輸?shù)年P(guān)鍵環(huán)節(jié)，對(duì)真空系統(tǒng)的抽速、潔凈度及穩(wěn)定性要求嚴(yán)苛，COBRA DS 8162/8163 B/F 干式螺桿真空泵正是為此場(chǎng)景量身打造的解決方案。

其 7000-7385m³/h 的超大抽速，能快速將 Load lock 腔體從常壓抽至目標(biāo)真空度（極限壓力低至 0.001hPa），大幅縮短腔體開關(guān)門后的抽氣周期，配合集成真空助力器，控制壓力波動(dòng)，避免基板在傳輸過(guò)程中因真空不穩(wěn)定出現(xiàn)位置偏移，保障顯器生產(chǎn)節(jié)拍連貫。

針對(duì)平板顯器制程中 Load lock 腔體可能殘留的微量顆粒與蒸汽，設(shè)備采用干式無(wú)油設(shè)計(jì)，從源頭油蒸汽污染，避免基板表面出現(xiàn)油污瑕疵，同時(shí)耐顆粒結(jié)構(gòu)可減少雜質(zhì)堵塞風(fēng)險(xiǎn)；水冷系統(tǒng)能穩(wěn)定控制泵體溫度，即便 24 小時(shí)連續(xù)運(yùn)行也能保持性能穩(wěn)定，降低維護(hù)頻次與成本。

此外，緊湊的機(jī)身結(jié)構(gòu)適配 Load lock 腔體周邊有限的安裝空間，無(wú)需復(fù)雜改造即可快速集成，無(wú)論是 LCD 還是 OLED 顯器生產(chǎn)線，都能輕松適配，為平板顯示器企業(yè)提升產(chǎn)能、保障產(chǎn)品良率提供可靠真空支持。

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